一、1931年:鲁斯卡使用冷阴极放电电子源和三个电子透镜改装高压示波器,首次实现电子显微成像。1932年:鲁斯卡进一步改进设计,将分辨率提升至50纳米,标志着电子显微镜进入实用阶段。
二、世界上第一台五坐标联动数控机床诞生于1959年,由美国辛辛那提公司(Ccat&bp;Mlacro)生产。
三、1881年:德国科学家马克斯·舒勒(Max&bp;Schuler)发明了第一台光刻机,用于印刷术。1952年:美国科学家理查德·霍夫(Rchard&bp;Hove)和弗雷德里克·特勒(Frederck&bp;Teller)发明了第一台电子束光刻机,用于半导体制造。1958年:美国德克萨斯仪器公司(Texa&bp;trumet)试制成功世界上第一块平面集成电路,标志着光刻技术开始应用于半导体领域。1959年:荷兰飞利浦公司研发出第一台商用光刻机,应用于半导体产业。
1955年,贝尔实验室的Jule&bp;Adru和Walter&bp;L.&bp;Bod开始采用光刻技术在印刷电路板上制作图案,使用二氧化硅层在硅片上产生更精细、更复杂的设计。1957年,美国陆军Damod&bp;Ordace&bp;Fue实验室的Ja&bp;Lathrop和Jame&bp;all获得了光刻技术的专利,该技术用于沉积约200微米宽的薄膜金属条。1958年,Farchld的Ja&bp;Lat和Robert&bp;oce制造了首批“步进重复”相机之一,利用光刻技术在单个晶圆上制造了许多相同的硅晶体管。1959年,CA收购了Davd&bp;W.&bp;Ma,成为光刻技术的先驱之一。